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產(chǎn)品名稱:

外延片測溫儀

描述:Sekidenko OR400T 外延片測溫儀可根據(jù)材料類型和所需溫度范圍配置波長??筛鶕?jù)具體應(yīng)用選擇光纖鏡頭或者藍寶石光管光學(xué)系統(tǒng)。
訪問次數(shù): 1667
更新時間: 2024-04-23

產(chǎn)品介紹

Sekidenko OR400T 外延片測溫儀主要特點

  • 采用光纖鏡頭或光導(dǎo)管的實時非接觸紅外測量

  • 完整的I / O和外部觸發(fā)/同步套件

  • 結(jié)構(gòu)緊湊,易于集成的單通道光纖高溫計

  • 提升了低溫測試性能

詳細(xì)說明

傳統(tǒng)的熱電偶測量會因傳熱效應(yīng)而導(dǎo)致溫場破壞,進而產(chǎn)生測溫誤差。OR400T 光纖溫度計可在不接觸晶圓的情況下直接測量晶圓溫度,提高晶圓之間的均勻性并提高溫度讀數(shù)的準(zhǔn)確性

OR400T光纖溫度計(OFT)提供單通道溫度測量功能,支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口,每秒高達20個讀數(shù)。適用于多種大批量半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用,包括LPCVD,PVD,和金屬蝕刻等。

每個OFT系統(tǒng)均由控制器,光學(xué)傳感器和光纖組成。使用光纜可以使控制器遠離RF和其他EMI源進行遠程定位。傳感器檢測目標(biāo)(通常是基板)輻射的近紅外(NIR)光線,然后通過光纜將近紅外輻射傳輸?shù)娇刂破?,控制器將收集到的光轉(zhuǎn)換為溫度讀數(shù)。

典型應(yīng)用

  • Epi

  • PECVD

  • LPCVD

  • PVD

  • MOCVD

 

技術(shù)參數(shù)

通用參數(shù)

配置

單通道溫度測量

溫度范圍

50 至 3500°C

波長600 至 1600 nm 
讀取速率高達 20 Hz
測溫精度±1.5°C

控制/重復(fù)精度

±0.1°C

分辨率0.01°C
接口
屏幕顯示無,可通過RS232設(shè)置
數(shù)據(jù) I/O高達115 kB的 RS-232 輸出
模擬輸出0 至 10 V 或 4 - 20 mA
電參數(shù)

輸入電壓

AC: 90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz

DC: +24 VDC

環(huán)境參數(shù)
使用環(huán)境15 to 40°C (64 to 104°F), 非凝露
物理特性
物理尺寸

55.7 mm (H) x 31.8 mm (W) x 195.2 mm (D)

2.2" (H) x 1.3" (W) x 7.7" (D)

重量0.73 kg (0.33 lb)
安裝M3 X 0.5螺紋孔(有關(guān)更多信息,請參閱手冊)
電源線電流100 VAC時,小于0.7A

Sekidenko OR400T 外延片測溫儀

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