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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品名稱:

外延片測(cè)溫儀

描述:Sekidenko OR4000E 外延片測(cè)溫儀可實(shí)現(xiàn)兩通道多波長(zhǎng)測(cè)溫。其光學(xué)系統(tǒng)可依據(jù)具體應(yīng)用選擇光纖鏡頭或者藍(lán)寶石光管。相較于Sekidenko OR4000T增加了發(fā)射率實(shí)時(shí)測(cè)量功能。
訪問(wèn)次數(shù): 1683
更新時(shí)間: 2024-04-23

產(chǎn)品介紹

Sekidenko OR4000E 外延片測(cè)溫儀主要特點(diǎn)

  • 多通道測(cè)量,通道數(shù)可達(dá)2個(gè)

  • 多波長(zhǎng)測(cè)量,波長(zhǎng)范圍:UV … 2300nm

  • 各通道獨(dú)立配置波長(zhǎng),發(fā)射率和光纖鏡頭/光導(dǎo)管

  • 發(fā)射率實(shí)時(shí)測(cè)量

  • RF、EMI免疫,可用于強(qiáng)電磁干擾環(huán)境

詳細(xì)說(shuō)明

OR4000多通道光纖溫度計(jì)(OFT)是OR2000的升級(jí)產(chǎn)品。 OR4000E較OR4000TE額外增加了實(shí)時(shí)發(fā)射率測(cè)量功能。

OR4000E使用主動(dòng)發(fā)射率補(bǔ)償功能進(jìn)行精確的溫度測(cè)量,以在變化的發(fā)射率條件下進(jìn)行精確的測(cè)量和控制。讀取速率高達(dá)2 kHz,能夠準(zhǔn)確跟蹤快速的溫度變化。 在動(dòng)態(tài)應(yīng)用中,這可以實(shí)現(xiàn)閉環(huán)溫度控制并優(yōu)化工藝產(chǎn)量。

OR4000T可根據(jù)目標(biāo)材料、工藝溫度范圍和工作距離(100 mm 到 3000 mm),為各個(gè)通道配置不同測(cè)量波長(zhǎng)。

典型應(yīng)用

  • Epi

  • CVD

  • MOCVD

  • 其它基板發(fā)射率變化的工藝

 

技術(shù)參數(shù)

通用參數(shù)

配置

1-4通道溫度測(cè)量,各通道獨(dú)立配置

溫度范圍

50 至 3500°C

實(shí)時(shí)發(fā)射率范圍

0.03 to 1.0

波長(zhǎng)UV 至 2300 nm 
讀取速率

溫度讀取速率, 2KHz

用于實(shí)時(shí)發(fā)射率測(cè)量,500Hz

測(cè)溫精度±1.5°C

控制/重復(fù)精度

±0.1°C

分辨率0.001°C
接口
屏幕顯示內(nèi)置,4 x 20 LCD 顯示,鍵盤輸入
數(shù)據(jù) I/ORS-232, RS-422/485, 和 Ethernet
模擬輸出0 至 10 V 或 4 - 20 mA
電參數(shù)

輸入電壓

AC: 90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz

DC: +24 VDC

環(huán)境參數(shù)
使用環(huán)境5 to 40°C (64 to 104°F), 非凝露
物理特性
物理尺寸

8.6 cm (H) x 15.2 cm (W) x 21.8 cm (D)

3.4" (H) x 6.0" (W) x 8.6" (D)

重量4.5 lb (2 kg)
安裝外殼底部,M5 X 0.75螺紋(有關(guān)更多信息,請(qǐng)參閱手冊(cè))
電源線電流100 VAC時(shí),小于0.7A
響應(yīng)時(shí)間小于2ms @ 2KHz的采樣率(僅溫度測(cè)量)

Sekidenko OR4000E 外延片測(cè)溫儀

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